壓力傳感器的類型多,目前比較常用的有壓阻式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器兩種。
1.壓阻式壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器的工作原理是當(dāng)壓敏電阻受壓后產(chǎn)生電阻變化,通過放大器放大并采用標(biāo)準(zhǔn)壓力標(biāo)定,即可進(jìn)行壓力檢測。壓阻式壓力傳感器的性能主要取決于壓敏元件(即壓敏電阻)、放大電路,以及生產(chǎn)中的標(biāo)定和老化工藝。
壓阻式傳感器是用集成電路工藝技術(shù),在硅片上制造出四個(gè)等值的薄膜電阻,并組成電橋電路。當(dāng)不受力作用時(shí),電橋處于平衡狀態(tài),無電壓輸出;當(dāng)受到力作用時(shí),電橋失去平衡,輸出與應(yīng)力成正比的電壓。壓阻式傳感器的工作原理與傳統(tǒng)的半導(dǎo)體應(yīng)變式傳感器的工作原理一樣,都是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)。
2.壓電式壓力傳感器
壓電式壓力傳感器原理基于壓電效應(yīng)。壓電效應(yīng)是某些電介質(zhì)在沿一定方向上受到外力的作用而變形時(shí),其內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生極化現(xiàn)象,同時(shí)在它的兩個(gè)相對(duì)表面上出現(xiàn)正負(fù)相反的電荷。當(dāng)外力去掉后,它又會(huì)恢復(fù)到不帶電的狀態(tài),這種現(xiàn)象稱為正壓電效應(yīng)。
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